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半导体机器人

1915年安川电机作为电机厂商起家,后率先在世界上提出“机电一体化”概念。拥有自己的伺服/机电/工控的三大核心产品的安川电机自30年前推出半导体机器人以来,已为全球供应了30,000多台半导体机器人,全球市场占比领先。为满足用户对生产线高稳定性和高产能性的需求,安川开发了新一代半导体晶片搬运机器人MR124,并供应EFEM的系统成套设备。

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新组合的robot大动作范围:EFEM模块移动距离可达4套应用设备,无需使用底架,极大地提高了搬运效率

高速搬运节拍满足:最快300枚/小时

适用wafer对象:300mm~450mm晶片搬运

 

 

 

SEMISTAR-VD95D

SEMISTAR-VD95D

适用于真空环境内最大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人!

双腕玻璃基板

负载:9KG

动态范围:2300mm

控制柜:DX100

用途:搬运、洁净室

SEMISTAR-MR124

SEMISTAR-MR124

适用于晶元搬运SEMISTAR-M系列升级版,引领业界的高性能!供应EFEM模块全套设备。300枚/小时的高速搬运。

半导体晶片搬运用机器人

负载:--

动态范围:1215mm

控制柜:SR100

用途:搬运、半导体

MFS22200D

MFS22200D

实现洁净室内多层第6代超大型液晶玻璃基板箱体内的高速搬运!

大型液晶玻璃基板搬运机器人

负载:50KG

动态范围:1780mm

控制柜:DX100

用途:搬运、洁净室

MFS2500D

MFS2500D

实现洁净室内多层第8代超大型夜间玻璃基板箱体内的高速搬运!

大型液晶玻璃基板搬运机器人

负载:60KG

动态范围:2300mm

控制柜:DX100

用途:搬运、洁净室

MFL2200D

MFL2200D

实现洁净室内多层第6代超大型夜间玻璃基板箱体内的高速搬运!

大型液晶玻璃基板搬运机器人

负载:50KG

动态范围:1675mm

控制柜:DX100

用途:搬运、洁净室

MCL165

MCL165

适用于洁净室内大型重物的搬运。最大负载重达165KG,洁净度达到ISO6级。

洁净室搬运机器人

负载:165KG

动态范围:2650mm

控制柜:DX100

用途:搬运、半导体、洁净室